兩種或以上的氣態原料導入到一個反應室內發生化學反應而形成一種新的材料，沉積到晶片表面上的工藝是什麼？

兩種或以上的氣態原料導入到一個反應室內發生化學反應而形成一種新的材料，沉積到晶片表面上的工藝是什麼？

選項A：物理氣相沉積

選項B：水熱法

選項C：化學固相沉積

選項D：化學氣相沉積